微分掃描光學顯微鏡的發(fā)展近來受到非常廣泛關注，它是基于比較樣品上鄰近兩點信息不同這一原則來探測樣品的.原來的掃描顯微鏡（SOM）在探測樣品時，即使樣品結構沒有變化，也可能產(chǎn)生假信號，有時又可能丟失信息，這種系統(tǒng)的潛在能力沒有*發(fā)揮出來.而微分掃描顯微鏡，只有當樣品上相鄰兩點在結構上有所變化時才會有信號，這樣結構上微小的變化能被探測，大大改進了成像效果并提高了分辨率.對樣品相鄰兩點上信息的比較，可采取不同方法.其中主要是從探測光束上取出相位的信息進行比較而給樣品成像，也有些是從探測光束上取出振幅信息進行比較.

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奧林巴斯顯微鏡

    外差光學顯微鏡用光電的共態(tài)抑制技術（而不是用振動誘發(fā)光的位相顫動）進行光的外差精密位相側量，它能分辨出的相位變化.它是用兩同心光束聚焦在樣品上，測出反射光束之間的相對位相差.這個無觸點的光學顯微鏡即能探測平滑高反射的表面，也可以探測粗糙的表面.

    光導纖維掃描微分干涉比較光學顯微鏡[16:不需要光學裝置，只需簡單的探測系統(tǒng).它借助于光導纖維，省去光路設計，而且系統(tǒng)很容易轉換成全光維表面聲波傳感器.

    相敏掃描顯微鏡可直接檢測樣品反射光的幅度和位相，因而能獲得復空I.7變量的傅里葉變換，能消除光學系統(tǒng)引起的像差的影響，它的深度分辨率優(yōu)于lOnm，對機械振動不敏感.

    微分振幅光學顯微鏡（DASOM）[1e）的工作原理是基于:在很小范圍內正弦地移動光束焦點來探測樣品.在張華西的實驗中，He-Ne激光光束首先通過一個駐波聲光偏轉器，驅動頻率是1.7MHz，而產(chǎn)生照射光斑在物體表面很小范圍內正弦移動.這樣，樣品表面任伺結構變化如外形或反射率變化都會使反射光束產(chǎn)生一交流信號，從這個信號的強度上可以檢測出樣品表面及亞表面機械結構和光學性質.經(jīng)計算DASOM系統(tǒng)的信噪比比普通光學顯微鏡的信噪比高得多.